宁波弘信新材料科技有限公司

石墨碳素,陶瓷

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MOCVD石墨盘、LED外延托盘、石墨基座Veeco,AIXTRON,ThomasSwan

发布者:严小姐 | 来源:宁波弘信新材料科技有限公司发布时间:2025-02-17
产品单价
面议
起订量
1件
供货总量
1000000 件
发货期限
自买家付款之日起3天内发货
品牌
西格里
   

在LED和MOCVD(金属有机化学气相沉积)外延工艺中,石墨基盘和石墨托盘是关键部件。这些石墨制品具有高纯度、高导热性、耐高温和良好的化学稳定性,能够显著提升外延层的质量和生产效率。弘信新材石墨作为国内的石墨解决方案,拥有多年的石墨盘加工经验。可完全匹配Veeco,AIXTRON,Thomas Swan等设备。GaN外延石墨托盘、蓝宝石衬底承载盘

产品特性

高纯度材料:采用高纯石墨制成,自有纯化纯度高达99.9%6N以上,确保在高温环境下不污染外延层。

高导热性:的导热性能,能够快速传导热量,外延层的均匀生长。

耐高温:可在高达2200°C的温度下稳定使用,适用于MOCVD和LED外延工艺。

化学稳定性:具有良好的抗腐蚀性,即使在高温和化学反应环境中也能保持稳定。

定制化服务:可根据客户的具体需求,提供不同尺寸和形状的石墨基盘和托盘。

应用领域

LED外延:用于蓝光、绿光LED芯片的外延生长,提升外延层的质量和效率。

MOCVD工艺:作为反应腔内的关键部件,承载衬底并提供稳定的生长环境。

化合物半导体外延:适用于GaN、SiC等化合物半导体的外延生长。

技术优势

加工:采用加工技术,确保基盘和托盘的表面平整度和尺寸精度。

涂层技术:部分产品表面涂覆碳化硅(SiC)涂层,进一步提高耐腐蚀性和使用寿命。

优化热场分布:通过优化石墨基盘的设计,减少热应力,提升外延层的均匀性和质量


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联系人 严小姐
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