半导体用石墨纸及石墨箔/SGLGraphiteFoil密封石墨纸等离子蚀刻腔室屏蔽

随着第三代半导体行业的快速发展，碳化硅（SiC）等材料的制造对高温、高纯度材料的需求不断增加。我公司推出的半导体用石墨纸及石墨箔，专为满足半导体制造中的高温、隔热、密封等需求而设计，具有的导热性、导电性和化学稳定性；

产品特性

纯度：石墨纸和石墨箔采用高纯石墨材料，纯度高，杂质含量极低，确保在高温环境下不污染半导体材料。

的导热性：石墨纸和石墨箔具有的导热性能，能够快速传导热量，确保工艺过程的性和稳定性。

耐高温性：可在高达3000°C的高温环境下使用，适用于惰性气体或真空环境。

柔性与可定制性：石墨纸和石墨箔具有类似纸张的柔软性和可塑性，可根据客户需求定制各种尺寸和形状。

化学稳定性：在高温和高真空环境下表现出色的抗腐蚀性和抗氧化性。

应用领域

半导体制造：用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、离子注入等工艺中的隔热材料、柔性层和密封材料。

晶体生长：作为保温筒、隔热材料和反射层，确保晶体生长过程的稳定性。

高温设备：适用于高温炉、热场系统中的隔热和密封部件。

产品优势

SIGRAFLEX® 石墨箔：由天然膨胀石墨制成，不含粘合剂，纯度，适用于纯度要求的半导体工艺。

SIGRATHERM® 石墨软毡和硬毡：提供的保温性能，可用于热场保温和隔热部件。

定制化服务：根据客户的具体需求，提供从设计到加工的一站式定制服务。

公司优势

经验：多年专注于半导体用石墨材料的研发和生产，积累了丰富的行业经验。

技术支持：提供的技术咨询，帮助客户优化工艺，提升生产效率。

质量：严格的质量检测流程，确保每一件产品都符合国际标准。